随着洁净技术的发展，高效空气过滤器无论是过滤材料、结构形式、密封材料、外框材料以及检测方法变化发展很快，尤其是集成电路生产的日新月异，要求生产环境达到控制微粒直径为0.05~0.1μm，空气洁净度登记要求1级甚至更为严格，并且还要控制生产环境中的分子级化学污染物、重金属污染物等。为了满足各种工业产品细微化、高精密度的要求，除了从洁净室的布置、围护和室内装饰以及净化空调系统的形式、气流流型等方面采用可靠地技术措施外，关键技术措施之一便是选用符合要求的高效空气过滤器（HEPA）、超高效空气过滤器（ULPA）。在这方面国内外的科研、设计和制造厂家都做了大量研究开发工作，取得了许多可用的成果，但是国产高效过滤器的产品与国际先进产品相比仍有较大差距，尤其是用于比5级（100级）和要求严更严格的洁净室用高效过滤器、超高效过滤器的质量、检测方法等方面存在着较大差距。

我国的国家标准GB13354-92《高效空气过滤器》中规定，高效过滤器是采用纳焰法检测，其效率达到99.9%以上的过滤器；或对粒径≥0.1μm的微粒采用粒子计数测定法，其效率达到99.999%以上的过滤器。高效过滤器的分类见

表4-37   高效过滤器的分类

高效过滤器的耐火分级为3级。1级过滤器，过滤器的全部材料都是不燃的，不燃性材料应符合国家标准GB8624，A级;2级过滤器滤料应为不燃性材料，其要求同1级；分隔板、框架可采用符合GB8624，B2级的可燃性材料；3级过滤器，过滤器的全部材 料可采用符合GB8624 ，B2级的可燃性材料。

高效过滤器的规格按有分隔板过滤器和无分隔板过滤器列于表4-38和表4-39中。

表4-38   有分隔板过滤器规格

注：1.当深度为 220mm 时，其相应额定风量比表中数值增加50%；当宽度尺加大50%或1倍时，则其相应额定风量也比表中数值增大50%或1倍。
2.当宽度尺寸加大50 %或 1倍时，其相应额定风量比表中数值也增大50%或 1倍；但7号和7号以上规格的宽度尺寸不得加大，主要是考虑过滤器的稳定性。

表4-39   无分隔板过滤器规格

注：1.当深度为 220mm 时，其相应额定风量比表中数值增加50%；当宽度尺寸加大50%或1倍时，则其相应额定风量也比表中数值增大50%或1倍。
2.当宽度尺寸加大50 %或 1倍时，其相应额定风量比表中数值也增大50%或 1倍；但7号和7号以上规格的宽度尺寸不得加大，主要是考虑过滤器的稳定性。高效过滤器的标注方式如下，型号规格、代号见表 4-40。

表4-40  高效过滤器型号规格代号 

标注示例：GY-A-3-6型表示A类有分隔板过滤器，3级耐火，外形尺寸600mm×600mm×150mm额定风量1000m3/h；GY-A-3-6KS型则表示外形尺寸为600mm×1200mm×220mm，额定风量为1300m3/h。